3D Smart Sensors for Semiconductor Manufacturing Inspection 2.0

半導体の製造は、機械的、フォトリソグラフイック、および化学的処理の 手順から構成される多段階の製造シーケンスであり、その間に、電気回 路は、純粋に半電導性の材料でできたウェーハ上に徐々に作成されま す。ほとんどの場合シリコンが常用されますが、特殊な用途にはさまざ まな化合物半導体が選択されます。 Gocator® 3D ライン共焦点センサーは、この製造プロセスのさまざま な段階で高精度のインライン 3D スキャンと検査を提供し、最高の製品 品質と最適な生産スループットを実現します。