Sensores inteligentes 3D para la inspección de la fabricación de semiconductores
La fabricación de semiconductores es una secuencia de fabricación en varias etapas compuesta por pasos de procesamiento mecánico, fotolitográfico y químico, durante la cual se crean gradualmente circuitos electrónicos en una oblea de material semiconductor puro. Casi siempre se utiliza silicio, pero para aplicaciones especializadas se eligen diversos semiconductores compuestos.
Los sensores confocales de línea 3D Gocator® ofrecen escaneado e inspección 3D de precisión en línea en varias fases de este proceso de fabricación para obtener la máxima calidad del producto y un rendimiento óptimo de la producción.
